METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19890015335-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH02194633(A)	申请公布日期	1990.08.01
申请号	JP19890015335	申请日期	1989.01.24
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	ANDO DAIZO
分类号	H01L21/56	主分类号	H01L21/56
代理机构		代理人
主权项
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