发明名称 ROLL MARK INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0316961(A3) 申请公布日期 1990.08.01
申请号 EP19880119348 申请日期 1988.11.21
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NISHIMURA, SEIKICHI C/O PATENT DIVISION
分类号 G01N21/89;G01N21/892;G01N21/93;G06F17/15;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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