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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0228611(Y2) 申请公布日期 1990.07.31
申请号 JP19820193682U 申请日期 1982.12.21
申请人 发明人
分类号 G01N23/227;H01J37/22;H01J37/252;H01J49/44;(IPC1-7):H01J37/252 主分类号 G01N23/227
代理机构 代理人
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