发明名称 GLOW DISCHARGE METHOD AND APPARATUS AND PHOTOSENSITIVE BODY DEVICE PREPARED THEREBY
摘要
申请公布号 JPS5837648(A) 申请公布日期 1983.03.04
申请号 JP19820124266 申请日期 1982.07.16
申请人 PURAZUMA FUIJIKUSU CORP 发明人 JIYON HOWAADO KOORUMAN
分类号 C23C14/00;B01J19/08;C23C14/06;C23C14/14;C23C16/50;G03G5/04;G03G5/08;G03G5/082;H01L31/0248;H01L31/08 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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