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发明名称
GLOW DISCHARGE METHOD AND APPARATUS AND PHOTOSENSITIVE BODY DEVICE PREPARED THEREBY
摘要
申请公布号
JPS5837648(A)
申请公布日期
1983.03.04
申请号
JP19820124266
申请日期
1982.07.16
申请人
PURAZUMA FUIJIKUSU CORP
发明人
JIYON HOWAADO KOORUMAN
分类号
C23C14/00;B01J19/08;C23C14/06;C23C14/14;C23C16/50;G03G5/04;G03G5/08;G03G5/082;H01L31/0248;H01L31/08
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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