发明名称 PRODUCTION OF OXIDE SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02194184(A) 申请公布日期 1990.07.31
申请号 JP19890011908 申请日期 1989.01.23
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MACHI TAKAHITO;TANAKA ATSUSHI
分类号 C04B41/87;C01G1/00;C22F1/00;C23C14/06;C23C14/08;C23C28/04;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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