| 发明名称 |
INSPECTION DEVICE FOR SURFACE OF TRANSPARENT SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02194352(A) |
申请公布日期 |
1990.07.31 |
| 申请号 |
JP19890014502 |
申请日期 |
1989.01.24 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
OODO TOKIO;ZAITSU YASUSHI;HOSHIKAWA HIROSHI;SUGIMOTO KEISUKE;NANBA YASUAKI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/958 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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