| 发明名称 |
Apparatus for transporting wafer to and from polishing head |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4944119(A) |
申请公布日期 |
1990.07.31 |
| 申请号 |
US19880208685 |
申请日期 |
1988.06.20 |
| 申请人 |
WESTECH SYSTEMS, INC. |
发明人 |
GILL, JR., GERALD L.;HYDE, THOMAS C. |
| 分类号 |
B24B41/06;B24B37/00;B24B37/04;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B24B41/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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