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发明名称 PLASMA NOZZLE
摘要
申请公布号 JPH02192726(A) 申请公布日期 1990.07.30
申请号 JP19890012172 申请日期 1989.01.21
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKAHASHI SHIROU
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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