| 摘要 |
습식 에칭 및 얼라인먼트 어긋남에 의한 패턴 열화를 발생시키지 않고, 투광부와 차광부의 경계 및 반투광부와 차광부의 경계를 갖는 전사용 패턴을 고정밀도로 형성하여, 표시 장치 제조용 다계조 포토마스크를 제조하는 방법을 제공한다. 투명 기판 위에 형성된 차광막 및 반투광막이 각각 패터닝됨으로써 형성된 차광부, 반투광부 및 투광부를 구비한 전사용 패턴을 갖는 다계조 포토마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 전사용 패턴은, 상기 차광부와 상기 투광부가 인접하는 부분과, 상기 반투광부와 상기 투광부가 인접하는 부분을 갖고, 소정의 공정을 갖는 다계조 포토마스크의 제조 방법. |
