| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02192617(A) |
申请公布日期 |
1990.07.30 |
| 申请号 |
JP19890012429 |
申请日期 |
1989.01.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
AMEMORI KAZUHIKO;TAKAHASHI YOSHIO;TSUTSUMI SHOICHI |
| 分类号 |
G11B5/31;H01B13/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
G11B5/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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