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经营范围
发明名称
CONTRACTED PROJECTION TYPE EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02192711(A)
申请公布日期
1990.07.30
申请号
JP19890011324
申请日期
1989.01.20
申请人
NEC CORP
发明人
YAMAGUCHI TOSHIYA
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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