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发明名称 FORMATION OF SUPERCONDUCTING WIRING
摘要
申请公布号 JPH02192174(A) 申请公布日期 1990.07.27
申请号 JP19890009955 申请日期 1989.01.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOBAYASHI KOICHI
分类号 H05K3/28;H01B12/06;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L39/24;H05K3/02 主分类号 H05K3/28
代理机构 代理人
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