发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02192110(A) 申请公布日期 1990.07.27
申请号 JP19890012603 申请日期 1989.01.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UEDA YOSHITO
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址