发明名称 EPITAXIAL DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH02192126(A) 申请公布日期 1990.07.27
申请号 JP19890009949 申请日期 1989.01.20
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO YOSHINARI
分类号 H01L21/205;H01L21/203;H01L21/31;H01L21/338;H01L29/812;H01S5/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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