发明名称 ガスジェットを用いる融液の表面からのシートの取り出し
摘要 In one embodiment, a sheet production apparatus comprises a vessel configured to hold a melt of a material. A cooling plate is disposed proximate the melt and is configured to form a sheet of the material on the melt. A first gas jet is configured to direct a gas toward an edge of the vessel. A sheet of a material is translated horizontally on a surface of the melt and the sheet is removed from the melt. The first gas jet may be directed at the meniscus and may stabilize this meniscus or increase local pressure within the meniscus.
申请公布号 JP5961303(B2) 申请公布日期 2016.08.02
申请号 JP20150084457 申请日期 2015.04.16
申请人 ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド 发明人 ピーター エル ケラーマン;グレゴリー ディー スロンソン;スン ダウェイ
分类号 C30B29/06;C30B15/06;C30B29/52 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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