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发明名称 SPUTTERED FILMS OF TITANIUM OXYNITRIDE AND METAL
摘要
申请公布号 NZ223972(A) 申请公布日期 1990.07.26
申请号 NZ19880223972 申请日期 1988.03.22
申请人 PPG INDUSTRIES INC 发明人 GILLERY, FRANK HOWARD
分类号 C23C4/10;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/08;C23C14/18;C03C17/09;C03C17/245;C03C17/36 主分类号 C23C4/10
代理机构 代理人
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