发明名称 VERFAHREN ZUR PASSIVIERUNG VON SI-BAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD281054(A1) 申请公布日期 1990.07.25
申请号 DD19890327023 申请日期 1989.03.30
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 MENDE,GUENTER,DD;FLIETNER,HANS,DD;KUPSCH,HERMANN,DD;SCHULZE,DIETER,DD
分类号 H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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