DRY ETCHING METHOD,申请号JP19890009365-传众专利搜索

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发明名称	DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPH02189919(A)	申请公布日期	1990.07.25
申请号	JP19890009365	申请日期	1989.01.18
申请人	NEC CORP	发明人	SAGAWA SEIJI
分类号	C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
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