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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MEHRLAGENRESISTSYSTEMS
摘要
申请公布号
DD280890(A3)
申请公布日期
1990.07.25
申请号
DD19870308084
申请日期
1987.10.19
申请人
AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD
发明人
WITTRICH,HARALD,DD;JOHN,WILFRED,DD
分类号
G03F7/26;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
G03F7/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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