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发明名称 TARGET FUER EINE IONENSPUTTERQUELLE
摘要
申请公布号 DD281053(A1) 申请公布日期 1990.07.25
申请号 DD19890327025 申请日期 1989.03.30
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 PFESTORF,WILFRIED,DD;DIETRICH,JUERGEN,DD;RICHTER,EMIL,DD
分类号 H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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