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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02188961(A) 申请公布日期 1990.07.25
申请号 JP19890009346 申请日期 1989.01.17
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 CHIBA KATSUHARU
分类号 H01L21/822;H01L21/66;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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