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发明名称 SPUTTERED TITANIUM OXYNITRIDE FILMS
摘要
申请公布号 EP0283923(B1) 申请公布日期 1990.07.25
申请号 EP19880104212 申请日期 1988.03.17
申请人 PPG INDUSTRIES, INC. 发明人 GILLERY, FRANK HOWARD
分类号 C23C4/10;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34 主分类号 C23C4/10
代理机构 代理人
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