发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SUPERCONDUCTING DEVICES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0307246(A3) |
申请公布日期 |
1990.07.25 |
申请号 |
EP19880308384 |
申请日期 |
1988.09.07 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
YAMAZAKI, SHUNPEI |
分类号 |
C30B29/22;C01G1/00;C04B41/87;H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 |
主分类号 |
C30B29/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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