发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SUPERCONDUCTING DEVICES
摘要
申请公布号 EP0307246(A3) 申请公布日期 1990.07.25
申请号 EP19880308384 申请日期 1988.09.07
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 发明人 YAMAZAKI, SHUNPEI
分类号 C30B29/22;C01G1/00;C04B41/87;H01L39/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
主权项
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