ION IMPLANTATION METHOD,申请号JP19890006966-传众专利搜索

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发明名称	ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号	JPH02189850(A)	申请公布日期	1990.07.25
申请号	JP19890006966	申请日期	1989.01.13
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	HONGO TOSHIAKI
分类号	H01J37/317;H01L21/265	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
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