| 摘要 |
(과제) 기판 형상의 측정에 걸리는 시간을 단축시키고, 또한 직묘 처리의 묘화 품질을 저하시키지 않는 묘화 데이터 생성 방법, 묘화 방법, 묘화 데이터 생성 장치, 및 묘화 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. (해결 수단) 묘화 장치(1)에서는, 1로트의 기판(S) 중 초반에 처리되는 소정 장수의 기판에 대해서 촬상부(34)에서 촬상함으로써 얻어지는 제1 실측 데이터(DR1)를 기초로, 제1군의 얼라인먼트 마크(Ma1)의 위치 정보로부터 제2군의 얼라인먼트 마크(Ma2)의 위치 정보를 추측하는 추측 데이터(DI)가 생성된다. 그리고, 추측 데이터(DI)가 생성된 후의 묘화 처리에서는, 추측 데이터(DI)를 이용함으로써, 촬상부(34)에 의한 얼라인먼트 마크(Ma)의 촬상점을 줄일 수 있다. 이로써, 얼라인먼트 마크(Ma)의 촬상 시간이 단축되어 묘화 장치(1)의 스루풋이 향상된다. |
