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发明名称 Apparatus and method for opens/shorts testing of capacitively coupled networks in substrates using electron beams
摘要
申请公布号 US4943769(A) 申请公布日期 1990.07.24
申请号 US19890326772 申请日期 1989.03.21
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GOLLADAY, STEVEN D.;HOHN, FRITZ J.;HUTSON, DAVID J.;MEISBURGER, WILLIAM D.;RASCH, JUERGEN
分类号 G01R31/302;G01Q60/40;G01R19/00;G01R19/165;G01R31/305;G01R31/307;H01L21/66 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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