SHARED COMPLIANCE IN A RAPID EXCHANGE DEVICE FOR RETICLES AND RETICLE STAGE

摘要

리소그래피 시스템의 레티클 스테이지(RS)에 패터닝 디바이스(1010)를 로딩하기 위한 방법, 리소그래피 시스템의 레티클 스테이지(RS)에 패터닝 디바이스(1010)를 로딩하도록 구성되는 고속 교환 장치(RED), 및 반도체 디바이스를 리소그래피적으로 제조하는 시스템이 제공된다. 상기 방법은, 레티클 스테이지(RS)와 RED 간에 6 자유도 중의 준수사항을 공유하는 단계를 포함한다. RED는 레티클 스테이지(RS) 및 패터닝 디바이스(1010)가 실질적으로 접촉하여 공면을 이룰 때까지 패터닝 디바이스(1010)를 제 1의 3 자유도들로만 따르도록 하고 레티클 스테이지(RS)를 제 2의 3 자유도들로만 따르도록 한다.