发明名称 SUSCEPTEUR DESTINE A ETRE UTILISE DANS UN DISPOSITIF VERTICAL POUR REALISER UNE CROISSANCE EN PHASE VAPEUR
摘要 L'invention concerne un suscepteur.Ce suscepteur comporte un corps 12 possédant une surface supérieure, une pluralité de zones 17 utilisées pour la mise en place de pastilles 5 et formées dans la surface supérieure du corps 12 du suscepteur, et des moyens en forme de plaques 16 fixés dans la surface supérieure du corps 12 du suscepteur à proximité des zones 17 de mise en place des pastilles, et les moyens en forme de plaques 16 possèdent une surface supérieure telle que, lorsque les pastilles 5 sont installées respectivement au niveau des zones 17 de mise en place des pastilles, les surfaces supérieures des moyens en forme de plaques 16 et des pastilles 5 sont situées sensiblement au même niveau.Application notamment à un suscepteur utilisé pour la fabrication de pastilles semi-conductrices.
申请公布号 FR2641901(A1) 申请公布日期 1990.07.20
申请号 FR19890017416 申请日期 1989.12.29
申请人 TOSHIBA CERAMICS CO LTD 发明人 EIICHI TOYA;YUKIO ITOH;TADASHI OHASHI;MASAYUKI SUMIYA;YASUMI SASAKI
分类号 C30B25/12;C23C16/44;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
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