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发明名称 MANUFACTURE OF FERROELECTRIC FILM
摘要
申请公布号 JPH02186629(A) 申请公布日期 1990.07.20
申请号 JP19890005808 申请日期 1989.01.12
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/8247;G11C11/22;H01L21/314;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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