发明名称 PROCEDE DE PREPARATION DE CIBLE POUR DEPOT DE COUCHES MINCES DU TYPE LNBA2CU3O7
摘要
申请公布号 FR2626895(B1) 申请公布日期 1990.07.20
申请号 FR19880001819 申请日期 1988.02.10
申请人 CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE 发明人 JACQUES MARCUS;CHRISTIANE CAPPOEN;CLAUDE FILIPPINI;JEAN-CLAUDE BRUYERE
分类号 C04B35/45;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/00;H01L39/24 主分类号 C04B35/45
代理机构 代理人
主权项
地址