发明名称 |
PROCEDE DE PREPARATION DE CIBLE POUR DEPOT DE COUCHES MINCES DU TYPE LNBA2CU3O7 |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2626895(B1) |
申请公布日期 |
1990.07.20 |
申请号 |
FR19880001819 |
申请日期 |
1988.02.10 |
申请人 |
CENTRE NAL RECHERC SCIENTIFIQUE |
发明人 |
JACQUES MARCUS;CHRISTIANE CAPPOEN;CLAUDE FILIPPINI;JEAN-CLAUDE BRUYERE |
分类号 |
C04B35/45;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B35/45 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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