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发明名称
MULTILAYERED INTERCONNECTION SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02186660(A)
申请公布日期
1990.07.20
申请号
JP19890006317
申请日期
1989.01.13
申请人
NEC CORP
发明人
KAWADA KOJI
分类号
H01L21/82;H01L27/10
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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