发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02186647(A) 申请公布日期 1990.07.20
申请号 JP19890007002 申请日期 1989.01.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOKOTA EIJI;AOKI TSUYOSHI;INOUE OSAMU;YOKOSAKI NORIHIRO;IMADA MITSUHIRO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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