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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02185979(A) 申请公布日期 1990.07.20
申请号 JP19890006567 申请日期 1989.01.13
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 OZAKI AKINORI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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