| 发明名称 |
FILM THICKNESS METER FOR VAPOR-DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02185970(A) |
申请公布日期 |
1990.07.20 |
| 申请号 |
JP19890005530 |
申请日期 |
1989.01.12 |
| 申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
NEHASHI KIYOSHI;OKABE SHUICHI |
| 分类号 |
C23C14/54;C23C14/24;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
