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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02185975(A) 申请公布日期 1990.07.20
申请号 JP19890002719 申请日期 1989.01.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIYAKE KIYOSHI;KETSUSAKO MITSUNORI
分类号 C30B25/12;C23C14/34;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/54;C30B30/08;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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