| 发明名称 |
METHOD OF FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02185028(A) |
申请公布日期 |
1990.07.19 |
| 申请号 |
JP19890003822 |
申请日期 |
1989.01.12 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
FUKURA MITSUNORI;KANBARA GINJIRO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C16/44;C23C26/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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