发明名称 BURN-IN DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02184778(A) 申请公布日期 1990.07.19
申请号 JP19890002761 申请日期 1989.01.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIZUSHIMA TADASHI;TAKAGI HIROSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/324;H01L21/326 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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