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经营范围
发明名称
THERMAL TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH02185039(A)
申请公布日期
1990.07.19
申请号
JP19890005174
申请日期
1989.01.11
申请人
NEC CORP
发明人
KONO MICHIHISA
分类号
H01L21/26;H01L21/265;H01L21/324
主分类号
H01L21/26
代理机构
代理人
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