THERMAL TREATMENT EQUIPMENT,申请号JP19890005173-传众专利搜索

发明名称	THERMAL TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH02185038(A)	申请公布日期	1990.07.19
申请号	JP19890005173	申请日期	1989.01.11
申请人	NEC CORP	发明人	KONO MICHIHISA
分类号	H01L21/26;H01L21/265;H01L21/324	主分类号	H01L21/26
代理机构		代理人
主权项
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