发明名称 |
FLUORINATED HYDROCARBON MIXTURE COMPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02185599(A) |
申请公布日期 |
1990.07.19 |
申请号 |
JP19890004597 |
申请日期 |
1989.01.13 |
申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
ASANO AKIO;KAMIMURA TORU;WATANABE NAOHIRO |
分类号 |
C11D7/50;H01L21/304;H05K3/26 |
主分类号 |
C11D7/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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