发明名称 FLUORINATED HYDROCARBON MIXTURE COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH02185599(A) 申请公布日期 1990.07.19
申请号 JP19890004597 申请日期 1989.01.13
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 ASANO AKIO;KAMIMURA TORU;WATANABE NAOHIRO
分类号 C11D7/50;H01L21/304;H05K3/26 主分类号 C11D7/50
代理机构 代理人
主权项
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