发明名称 VERFAHREN ZUM PRUEFEN OPTISCHER OBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DE3937950(A1) 申请公布日期 1990.07.19
申请号 DE19893937950 申请日期 1989.11.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS, LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 NAKAHARA, TOMOHARU, NISHINOMIYA, HYOGO, JP;HATAZAWA, SHINJI, SHIJONAWATE, OSAKA, JP;NOMURA, SHOZO, HIRAKATA, OSAKA, JP;INOUE, TOSHINORI, NARA, JP;SHIRASAWA, MITSURU;YAMATAKE, SATOSHI, OSAKA, JP
分类号 G01N21/88;G01N21/956 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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