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发明名称 VORRICHTUNG VOM TYP FLUESSIGKEITSKUEHLUNG EINER HOCHFREQUENZ-FESTKOERPERANORDNUNG.
摘要
申请公布号 DE3482527(D1) 申请公布日期 1990.07.19
申请号 DE19843482527 申请日期 1984.11.29
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SAITO, TOSHIYUKI;OKUBO, NAOFUMI RAIONZU MANSHON MIYAMAEDAIR, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 213, JP;KANEKO, YOSHIAKI FUJITSU DAI 1 FUJIGAOKA-RY, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 227, JP;TOKUMITSU, YASUYUKI, ISEHARA-SHI KANAGAWA 259-11, JP
分类号 H01L23/427;H01L23/44;H01L23/66;(IPC1-7):H01L23/42 主分类号 H01L23/427
代理机构 代理人
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