发明名称
摘要
申请公布号 JPH0291186(U) 申请公布日期 1990.07.19
申请号 JP19890000248U 申请日期 1989.01.04
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01R33/76;(IPC1-7):H01R33/76 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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