WAFER PROBE,申请号CA19870551319-传众专利搜索

发明名称	WAFER PROBE
摘要	<p>A wafer probe for testing semiconductor devices brings low impedance connections closely adjacent device bonding pads for bypassing power supply voltages.</p>
申请公布号	CA1271848(A)	申请公布日期	1990.07.17
申请号	CA19870551319	申请日期	1987.11.09
申请人	CASCADE MICROTECH, INC.	发明人	STRID, ERIC W.
分类号	G01R1/073;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	G01R1/073
代理机构		代理人
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