| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING DEFLECTION OF BEAM IN ELECTRON BEAM MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02182385(A) |
申请公布日期 |
1990.07.17 |
| 申请号 |
JP19890001947 |
申请日期 |
1989.01.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMANE YOSHIO;SASAKI SHIGEO |
| 分类号 |
B26F1/26;B23K15/00;B23K15/02 |
主分类号 |
B26F1/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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