发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02181450(A) 申请公布日期 1990.07.16
申请号 JP19880227165 申请日期 1988.09.10
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;URATA KAZUO;HIROSE NAOKI;KOYAMA ITARU;IMATO SHINJI;NAKASHITA KAZUHISA
分类号 H05K3/28;H01L21/56 主分类号 H05K3/28
代理机构 代理人
主权项
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