发明名称 FORMATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02181485(A) 申请公布日期 1990.07.16
申请号 JP19890000293 申请日期 1989.01.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 MINAGAWA SHIGEKAZU;KONDO MASAHIKO
分类号 H01L21/324;H01S5/00 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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