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发明名称
FORMATION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH02181485(A)
申请公布日期
1990.07.16
申请号
JP19890000293
申请日期
1989.01.06
申请人
HITACHI LTD
发明人
MINAGAWA SHIGEKAZU;KONDO MASAHIKO
分类号
H01L21/324;H01S5/00
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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