发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02181433(A) 申请公布日期 1990.07.16
申请号 JP19890001483 申请日期 1989.01.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAGASE YOJI
分类号 H01L29/73;H01L21/02;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/00;H01L27/06;H01L27/12;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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