| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SURFACE ANALYSIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02181639(A) |
申请公布日期 |
1990.07.16 |
| 申请号 |
JP19890000303 |
申请日期 |
1989.01.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NINOMIYA TAKESHI;SUZUKI KEIZO |
| 分类号 |
G01N23/225;G01N21/62;G01N21/63;G01N23/22;G01N23/227;G01Q70/08 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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