发明名称 METHOD OF OBTAINING SILICON STRUCTURE
摘要
申请公布号 SU1578238(A1) 申请公布日期 1990.07.15
申请号 SU19884421936 申请日期 1988.05.06
申请人 NOVOCHERKASSKIJ POLT I IM.SERGO ORDZHONIKIDZE 发明人 BALYUK ALEKSANDR V,SU;SEREDIN BORIS M,SU;POPOV VIKTOR P,SU;POLUKHIN ALEKSEJ S,SU
分类号 C30B19/02;C30B29/06 主分类号 C30B19/02
代理机构 代理人
主权项
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